ФОЦУС Прстен за једење

Монокристално силиконским силиконским прстеновима су основне компоненте у поступцима полуводича одржавањем стабилности у плазми, заштитне опреме и вафла, оптимизацију коришћења ресурса и прилагођавање напредним захтевима процеса. Његов перформанс директно утиче на принос и трошкове производње чипова.

Јетњени прстен за фокусирање, електрода и итд. (Регулатор температуре ивица) су основни потрошни материјал за осигуравање уједначености у плазми, контрола температуре и поновљивост процеса. Ове компоненте су прецизно састављене у вакуумској комори ЦВД, ЕТЦХИНГ и ФИЛМ опреме и директно одређују тачност и принос јеткања од ивице до средишта решетка.

In response to the stringent demand for material properties in high-end manufacturing processes, Veteksemi innovates by using high-purity Monocrystalline Silicon with a resistivity of 10-20Ω ·cm to manufacture focusing rings and supporting consumables. Кроз колаборативно оптимизацију материјалних наука, електрични дизајн и термодинамика, ВетеКСЕМИ је у могућности да производи фокусирање прстенова и подршку потрошни материјал. Свеобухватно надмашити традиционална кварцна решења за постизање пробојних побољшања у дуговечности, тачности и економичности.

Поређење материјала и оптимизација отпора и отпорности

Моноцристаллине Силицон Вс. Кварц

Основни пренатски производe

1. Тачност процеса атомског нивоа

Оптимизација отпорности + ултра прецизни полирање (РА <0,1μм) елиминише микро-пражњење и контаминацију честица како би се испунио стандарде СЕМИ Ф47.

Диелектрични губитак (ТАНЛΔ <0,001) је високо подударан са диелектричним окружењем од махања, избегавајући изобличење ивице електричног поља и подржавање 3Д нанд 89,5 ° ± 0,3 ° вертикално дубоко рушење рупа.

2 Интелигентна компатибилност система

Интегрисано са итд модулом за контролу температуре ивице, проток ваздуха за хлађење динамички подешава термоелемент и АИ алгоритам за надокнаду коморе топлотне дрифте.

Подршка прилагођеној ручној мрежи РФ, погодна за маинстреам машине као што су Амат Центура, Лам Ресеарцх Киио и ИЦП / ЦЦП плазми извори.

3. Свеобухватна економичност

Живот монокристалног силицијума је дуже од 275% дуже од кварца, циклус одржавања је више од 3.000 сати, а свеобухватни трошак власништва (ТЦО) смањује се за 30%.

Услуга прилагођавања градијената за отпорност (5-100ω · цм), прецизно одговарајући прозору за процесе клијента (као што је Етцхинг Етцхинг Ган / СИЦ широког опсега).

Ефекат отпорности

Производни комерцијални услови

Минимална количина поруџбине	1 сет
Цена	Контакт за прилагођену понуду
Детаљи паковања	Стандардни извозни пакет
Време испоруке	Вријеме испоруке: 30-35 дана након потврде наруџбе
Услови плаћања	Т / т
Способност снабдевања	600 сетова / месеца