СИЦ пресвучен носач

Производња чипова је неодвојива од вафла. У процесу припреме плочице постоје две кључне карике: једна је припрема супстрата, а друга је имплементација епитаксијалног процеса. Супстрат се може директно ставити у процес производње плочица за производњу полупроводничких уређаја или додатно побољшати крозепитаксијални процес. 

Епитакпија је раст новог слоја појединачног кристала на јединственом кристалној подлози која је фино обрађена (сечење, брушење, полирање итд.). Будући да ће се новорадни појединачни кристални слој проширити према кристалној фази подлоге, то се назива епитаксијални слој. Када се епитаксијални слој расте на подлози, целина се назива епитакксијајући сеф. Увођење епитаксијске технологије паметно решава много недостатака појединих подлога.

У пећи за епитакксију, супстрат се не може наћи насумично и аносач вафлаПотребно је поставити супстрат на држач ливе пре него што се на подлогу може извести на подлогу. Овај носач вафле је носач од вафла сиц.

Поглед на попречни пресек ЕПИ реактора

ВисококвалитетноСички премазнаноси се на површину СГЛ графита коришћењем ЦВД технологије:

Уз помоћ СиЦ премаза, многа својства одДржач вафла обложен СиЦсу значајно побољшани:

● антиоксидативна својства: Сиц премаз има добру отпорност на оксидацију и може заштитити графитну матрицу од оксидације на високим температурама и проширити свој радни век.

● Отпорност на високу температуру: Тачка топљења СИЦ премаза је веома висока (око 2700 ° Ц). Након додавања СИЦ премаза у графитску матрицу, може да издржи веће температуре, што је корисно за наношење у окружењу епитаксијалне пећи на пећи.

● Отпорност на корозију: Графит је склон хемијској корозији у одређеним киселим или алкалним срединама, док СиЦ премаз има добру отпорност на киселу и алкалну корозију, тако да се може користити у епитаксијалним пећима за раст дуго времена.

● Отпорност на хабање: СиЦ материјал има високу тврдоћу. Након што је графит обложен СиЦ-ом, не може се лако оштетити када се користи у епитаксијалној пећи за раст, смањујући стопу хабања материјала.

Семицондуцтор Ветека користи најбоље материјале и најнапреднију технологију за обраду да би купцима пружили производе водећих средстава за пресвучене индустрије. Снажан технички тим за семицондуцтор Ветек је увек опредијељен да прилагоди најприкладније производе и најбоља системска решења за купце.

СЕМ ПОДАЦИ ЦВД СИЦ ФИЛМА

То полуводичПродавнице носача вафла обложених СиЦ