Вести

Овај чланак углавном описује широке могућности примене керамике силицијум карбида. Такође се фокусира на анализу узрока синтеровања пукотина у керамици силицијум карбида и одговарајућим решењима.

Технологија јеткања у полуводичкој производњи често сусреће проблеме као што су ефекат учитавања, ефекат микро-утора и ефекат пуњења, који утичу на квалитет производа. Решења за побољшање укључују оптимизацију густине у плазми, подешавање састава реакционог гаса, побољшање ефикасности вакуумског система, дизајнирање разумног распореда литографије и одабир одговарајућих материјала за маскирање и процесне услове.