Индустри Невс

Кварцни материјали високе чистоће играју виталну улогу у индустрији полупроводника. Њихова супериорна отпорност на високе температуре, отпорност на корозију, термичка стабилност и својства преноса светлости чине их критичним потрошним материјалом. Кварцни производи се користе за компоненте у високотемпературним и нискотемпературним зонама производње вафла, обезбеђујући стабилност и чистоћу производног процеса.

Са глобалном енергетском транзицијом, револуцијом вештачке интелигенције и таласом информационих технологија нове генерације, силицијум карбид (СиЦ) је брзо напредовао од "потенцијалног материјала" до "стратешког темељног материјала" због својих изузетних физичких својстава.

У полупроводничким високотемпературним процесима, руковање, држање и термичка обрада плочица се ослањају на специјалну потпорну компоненту — чамац за плочице. Како температура процеса расте, а захтеви за чистоћом и контролом честица расту, традиционални чамци од кварцних плочица постепено откривају проблеме као што су кратак радни век, високе стопе деформације и слаба отпорност на корозију.

За индустријску производњу супстрата од силицијум карбида, успех једног циклуса раста није крајњи циљ. Прави изазов лежи у обезбеђивању да кристали узгајани у различитим серијама, алатима и временским периодима одржавају висок ниво доследности и поновљивости у квалитету. У овом контексту, улога превлаке од тантал карбида (ТаЦ) превазилази основну заштиту—постаје кључни фактор у стабилизацији прозора процеса и очувању приноса производа.

Раст ПВТ силицијум карбида (СиЦ) укључује озбиљне термичке циклусе (собна температура изнад 2200 ℃). Огроман топлотни стрес који се ствара између премаза и графитне подлоге због неусклађености коефицијената термичког ширења (ЦТЕ) је главни изазов који одређује век трајања премаза и поузданост примене.

У процесу раста ПВТ кристала силицијум карбида (СиЦ), стабилност и униформност топлотног поља директно одређују брзину раста кристала, густину дефеката и униформност материјала. Као граница система, компоненте топлотног поља показују површинска термофизичка својства чије су мале флуктуације драматично појачане у условима високе температуре, што на крају доводи до нестабилности на међупростору раста.