8-инчни горњи прстен за епитаксију обложен ЦВД силицијум карбидом (СиЦ).

Кључне карактеристике горњег прстена од 8 инча СиЦ Епи

● Висока чистоћа: минимум 99,9995%. Метал неће мигрирати у епи-слој. Ово одржава концентрацију носача плочице тамо где треба.

● Супресија честица: ЦВД структура је густа. Нема пора. Неће одбацити честице док алат ради. Фабрике на овај начин виде боље приносе.

● Отпорност на топлоту: Прстен остаје стабилан на 1500°Ц. Низак ЦТЕ (термална експанзија) значи да нема савијања током брзих циклуса загревања/хлађења.

● Хемијска стабилност: Чврсти ЦВД СиЦ отпоран је на гасове Х2 и ХЦл. Такође је отпоран на НХ3. Нема премаз за скидање. Не деградира се у тешким ЦВД окружењима.

● Животни век компоненте: Површина је изузетно тврда. Преживљава поновљено хемијско чишћење ХФ/ХЦл. Ово смањује учесталост замене. Такође смањује укупне трошкове власништва фабрике.

Техничке спецификације

Уједначеност дебљине премаза између серија се контролише на 10 ум

Апликације

ЦВД СиЦ епи горњи прстен се широко користи у:

● Реактори са силицијумском епитаксијом (Си Епи).

● епитаксија силицијум карбидом (СиЦ Епи)

● МОЦВД системи

● Опрема за ЦВД таложење

Обично упарен са:

● Сусцепторс

● Носачи за плочице

● Прстенови за претходно загревање

● Реактори за епитаксију

Зашто користити ВЕТЕК СиЦ Епи Топ Ринг?

● Потпуна производна способност: 

Од пречишћавања сировина до прецизне машинске обраде и ЦВД премаза, ВЕТЕК контролише цео производни процес како би обезбедио доследан квалитет полупроводника.

● Висока тачност: 

Користимо машинску обраду на нивоу микрона. Дебљина ЦВД-а је веома уједначена. Ово чини да сваки прстен ради на потпуно исти начин.

ФАК

(1) Шта ради горњи прстен СиЦ епи?

Прстен управља протоком топлоте и гаса. Обезбеђује да танак филм расте равномерно преко облатне.

(2) Зашто је ЦВД СиЦ бољи од графита?

Графит је порозан. Графит има поре и ослобађа гас. Чврсти ЦВД СиЦ је густ и чист. У корозивним алатима траје много дуже.

(3). Да ли се горњи прстен од 8 инча СиЦ може прилагодити?

Да. Израђујемо према вашим специфичним цртежима алата. Можемо да прилагодимо геометрију на основу вашег процеса.

(4). Које индустрије користе СиЦ епитаксијске прстенове?

Углавном се користе у производњи полупроводника, укључујући енергетске уређаје, РФ уређаје и производњу СиЦ плочица.