Технологија термичког прскања полупроводника

Технологија топлотне прскалице полуводича је напредни процес који прска материјале у растопљеном или полупростаљеном стању на површину подлоге да би се формирао премаз. Ова технологија се широко користи у области производње полуводича, која се углавном користи за креирање премаза са специфичним функцијама на површини подлоге, попут проводљивости, изолације, отпорности на корозију и отпорност на оксидацију. Главне предности технологије топлотне распршивања укључују високу ефикасност, контролисану дебљину премаза и добром лепком премаза, што је посебно важно у процесу производње полуводича који захтева велику прецизност и поузданост.

Примена технологије термичког прскања у полупроводницима

Етомирање плазме беам (суво јеткање)

Обично се односи на употребу сјајног пражњења за генерисање активних честица плазме које садрже наелектрисане честице као што су плазма и електрони и високо хемијски активни неутрални атоми и молекули и слободни радикали, који дифундују на део који се угравирају, реагују са угравираним материјалом, формирају испарљиве производи и уклањају се, чиме се завршава технологија гравирања преноса узорка. То је незаменљив процес за реализацију преноса финих узорака високе верности са фотолитографских шаблона на плочице у производњи интегрисаних кола ултра великих размера.

Биће генерише велики број активних слободних радикала као што је Цл и Ф. Када су етцх полуводични уређаји, они нагрижу унутрашње површине осталих делова опреме, укључујући легуре алуминијума и керамичке структурне делове. Ова јака ерозија производи велики број честица, које не само да захтева често одржавање производне опреме, већ и проузрокује неуспех процеса Ектинг Процес-а и оштећења уређаја у озбиљним случајевима.

И2О3 је материјал са веома стабилним хемијским и термичким својствима. Његова тачка топљења је далеко изнад 2400 ℃. Може остати стабилан у снажном корозивном окружењу. Његова отпорност на бомбардовање у плазми може у великој мери проширити радни век компоненти и смањити честице у Ектинг комори.

Главно решење је прскање премаза високе чистоће И2О3 да би се заштитила комора за нагризање и друге кључне компоненте.