Вести

8-инчни СИЦ епитаксална пећ и истраживање хомоепитакса

У чланку се анализирају својства материјала полупроводничких подлога као што су силицијум, ГаАс, СиЦ и ГаН

Овај чланак углавном описује Епитаксијалну технологију на бази ГАН-а, укључујући кристалну структуру материјала на бази ГАН-а, 3. Епитаксијалне технолошке технологије и решења за имплементацију, предности епитаксијске технологије ниског температура на принципима ПВД-а и развојне перспективе епитаксије технологије са ниским температурама.