Индустри Невс

Идеално је за изградњу интегрисаних кола или полупроводничких уређаја на савршеном кристалном основном слоју. Процес епитаксије (епи) у производњи полупроводника има за циљ таложење финог монокристалног слоја, обично око 0,5 до 20 микрона, на једнокристалну подлогу. Процес епитаксије је важан корак у производњи полупроводничких уређаја, посебно у производњи силицијумских плочица.

Главна разлика између таложења епитаксије и атомског слоја (АЛД) лежи у њиховим механизмима раста филма и радним условима. Епитакти се односи на процес растућих кристалног танког филма о кристалном подлози са одређеним оријентационим односима, одржавајући исту или сличну кристалну структуру. Супротно томе, АЛД је техника полагања која укључује излагање подлоге различитим хемијским прекурсорима у низу да би се истовремено формирао један атомски слој.

ЦВД ТАЦ премаз је процес за формирање густог и издржљивог премаза на подлози (графит). Ова метода укључује наношење ТаЦ на површину подлоге на високим температурама, што резултира премазом од тантал карбида (ТаЦ) са одличном термичком стабилношћу и хемијском отпорношћу.