Индустри Невс

У индустрији полуводича, јер се величина уређаја наставља да се смањи, технологија танких филмских материјала поставила је невиђене изазове. Депоновање атомског слоја (АЛД), као танка технологија омаловажавања филма која може постићи прецизну контролу на атомском нивоу, постала је неопходан део производње полуводича. Овај чланак има за циљ да уведе проток процеса и принципи АЛД-а како би помогли да се разуме његова важна улога у напредној производњи чипова.

Идеално је за изградњу интегрисаних кола или полупроводничких уређаја на савршеном кристалном основном слоју. Процес епитаксије (епи) у производњи полупроводника има за циљ таложење финог монокристалног слоја, обично око 0,5 до 20 микрона, на једнокристалну подлогу. Процес епитаксије је важан корак у производњи полупроводничких уређаја, посебно у производњи силицијумских плочица.

Главна разлика између таложења епитаксије и атомског слоја (АЛД) лежи у њиховим механизмима раста филма и радним условима. Епитакти се односи на процес растућих кристалног танког филма о кристалном подлози са одређеним оријентационим односима, одржавајући исту или сличну кристалну структуру. Супротно томе, АЛД је техника полагања која укључује излагање подлоге различитим хемијским прекурсорима у низу да би се истовремено формирао један атомски слој.