Индустри Невс

ЦВД ТАЦ премаз је процес за формирање густог и издржљивог премаза на подлози (графит). Ова метода укључује наношење ТаЦ на површину подлоге на високим температурама, што резултира премазом од тантал карбида (ТаЦ) са одличном термичком стабилношћу и хемијском отпорношћу.

Како процес од 8 инча силицијум карбида (СиЦ) сазрева, произвођачи убрзавају прелазак са 6 инча на 8 инча. Недавно су ОН Семицондуцтор и Ресонац најавили ажурирања производње 8-инчног СиЦ-а.

Овај чланак представља најновија достигнућа у новодизајнираном ПЕ1О8 ЦВД реактору са врућим зидом италијанске компаније ЛПЕ и његовој способности да изврши једнообразну 4Х-СиЦ епитаксију на 200 мм СиЦ.

Са растућом потражњом за СИЦ материјале у електроници, оптоелектроницима и другим областима, развој јединствене технологије раста кристала је постаће кључно подручје научне и технолошке иновације. Како је језгро сиц појединачне опреме за раст кристала, топлотни теренски дизајн ће наставити да прима велику пажњу и дубинско истраживање.

Континуираним технолошким напретком и дубинским истраживањима механизма, очекује се да ће 3Ц-СИЦ хетероепитаксална технологија играју важнију улогу у полуводичкој индустрији и промовисати развој електронских уређаја високог ефикасности.

Просторни АЛД, просторно изоловано таложење атомског слоја. Облата се креће између различитих позиција и изложена је различитим прекурсорима на свакој позицији. Слика испод је поређење између традиционалне АЛД и просторно изоловане АЛД.