Аиптрон Сателитски носач

Аиктрон Сателитски носач је саставни део Аиктрон МоцВД опреме, посебно који се користи за ношење вафера за епитаксијални раст. Посебно је погодан заЕпитаксијални растПроцес уређаја ГАН и Силицијум Царбиде (СИЦ). Његов јединствени "сателитски" дизајн не само да осигурава само униформност тока гаса, већ такође побољшава униформност преноса о филму на површини резине.

Аиктрон'сВозни носачису обично направљени одСилицијум карбида (СИЦ)или графит премазани ЦВД. Међу њима је силиконски карбид (СИЦ) има одличну топлотну проводљивост, отпорност на високу температуру и ниску коефицијент термичког експанзије. ЦВД пресвучен графит је графит пресвучен филмским филмом силиконским карбидом кроз поступак хемијске талодије паре (ЦВД), који може побољшати његову отпорност на корозију и механичку чврстоћу. Сиц и премазени графитни материјали могу да издрже температуре до 1.400 ° Ц-1.600 ° Ц и имају одличну топлотну стабилност на високим температурама, што је критично за процес раста епитаксија.

Аиктрон Носач са сателитским вафлом углавном се користи за ношење и ротирање вафера уМОЦВД процескако би се осигурао јединствен проток гаса и једнолично таложење током раста епитаксија.Специфичне функције су следеће:

● Ваффер ротација и једнолично таложење: Кроз ротацију Аиптрон сателитског носача, вафли може да одржава стабилно кретање током раста епитаксија, омогућавајући гас да равномерно прође преко површине резине како би се осигурао уједначено одлагање материјала.

● Лежај и стабилност на високом температуру: Силицијум карбида или премазани графички материјали могу да издрже температуре до 1.400 ° Ц-1.600 ° Ц. Ова функција осигурава да се резини не деформише током раста на високом температуру, док спречава да се топлотни експанзија носила је погодила епитаксијални процес.

● Смањена генерација честица: Висококвалитетни носачи материјали (попут СИЦ-а) имају глатке површине које смањују стварање честица током таложења паре, на тај начин минимизира могућност контаминације, која је критична за производњу високих чистоћих, висококвалитетних полуводичких материјала.

Аиктрон Аиптрон Сателитски преносник са сателитским вафлом доступан је у 100 мм, 150 мм, 200 мм, а још већим величинама од вафла и може да обезбеди прилагођене услуге производа на основу ваше опреме и услова за процесе. Искрено се надамо да ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.

СЕМ подаци ЦВД СИЦ филма кристалне структуре：

Аиктрон Сателитске продајне продавнице: